T_CPSS 1018-2025 半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法.docxVIP

中国电源学会发布

ICS19.08CCSK80

团体标准

T/CPSS10182025

半导体制造用等离子体工艺射频电源Testmethods

半导体制造用等离子体工艺射频电源

TestmethodsfodynamicimpedanceofRFgeneratorappliedinsemiconductormanufacturingpasmaprocess

体制造用等离子体工艺射频I动态阻抗测试方法

thodsfordynamicimpedanceofRFgensemiconductormanufacturingplasm:

2025-08-22发布2025-08-23实施

T/CPSS10182025

目次

前言 II

1范围 1

3术语和定义 ——1

4测试环境条件 ——1

5测试方法 ——2

5.1射频电源工作状态 2

5.2测试负