CN119816699A 用于处理干涉仪的参考元件的方法 （卡尔蔡司Smt有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119816699A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202380066068.7

(22)申请日2023.09.07

(30)优先权数据

102022209651.72022.09.14DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.03.13

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0745402023.09.07

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/056501DE2024.03.21

(71)申请人卡尔蔡司SMT有限责任公司地址德国上科亨

(72)发明人J·赫茨勒

(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

11105

专利代理师王蕊瑞

(51)Int.Cl.

G01B9/021(2006.01)

G01B9/02056(2022.01)

G01B11/24(2006.01)

G01B9/02055(2022.01)

G01B21/04(2006.01)

G01M11/02(2006.01)

G02B5/32(2006.01)

G02B27/09(2006.01)

G02B27/42(2006.01)

G03F7/00(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图3页