CN120060973A 用于生长晶体的热场装置以及控制方法 （江苏集芯先进材料有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120060973A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510367001.8

(22)申请日2025.03.26

(71)申请人江苏集芯先进材料有限公司

地址221000江苏省徐州市高新技术产业

开发区电子信息产业园二期二号厂房

(72)发明人李远田韩倩吴安楠尹良良

(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事

务所(普通合伙)11201

专利代理师王烨迪

(51)Int.Cl.

C30B29/36(2006.01)

C30B23/00(2006.01)

权利要求书2页说明书13页