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真空镀膜设备安全管理员理论考试练习试卷

一、单选题（共50题，每题1分，计50分）

1.真空镀膜设备在运行过程中，真空度突然下降的主要原因可能是（A）。

A.真空泵油污染

B.真空室门未完全密封

C.系统管道泄漏

D.真空计损坏

2.真空镀膜设备中，用于去除金属蒸发源表面氧化层的工艺称为（C）。

A.离子轰击

B.真空烘烤

C.化学清洗

D.氮气吹扫

3.当真空镀膜设备出现异常响声时，操作人员应首先采取的措施是（B）。

A.立即停止设备运行

B.检查设备振动和轴承部位

C.联系维修人员

D.降低设备运行参数

4.真空镀膜过程中，影响膜层均匀性的关键因素之一是（D）。

A.蒸发源功率

B.真空室温度

C.基板移动速度

D.以上都是

5.真空镀膜设备中的离子辅助沉积技术主要用于（C）。

A.提高膜层附着力

B.增加膜层厚度

C.改善膜层结晶质量

D.降低沉积速率

6.真空镀膜设备日常维护中，需要定期检查的项目不包括（D）。

A.真空泵油位

B.冷却水流量

C.控制系统电