电子气体 六氟化钨.docxVIP

ICS71.100.20CCSG86

中华人民共和国国家标准

GB/T32386—2026代替GB/T32386—2015

电子气体六氟化钨

Electronicgas—Tungstenhexafluoride

2026-04-30发布2026-11-01实施

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

发布

GB/T32386—2026

Ⅰ

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本文件代替GB/T32386—2015《电子工业用气体六氟化钨》,与GB/T32386—2015相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:

a)更改了范围(见第1章,2015年版的第1章);

b)更改了六氟化钨应符合的技术要求(见第4章,2015年版的第3章);

c)更改了采样的要求(见第5章,2015年版的4.1.4);

d)更改了纯度计算方法(见6.1,2015年版的4.2);

e)更改了四氟化碳、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫含量的测定方法(