CN119292010A 一种光学邻近校正建模方法及其系统 (浙江创芯集成电路有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-01 发布于重庆
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CN119292010A 一种光学邻近校正建模方法及其系统 (浙江创芯集成电路有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119292010A

(43)申请公布日2025.01.10

(21)申请号202411824008.X

(22)申请日2024.12.12

(71)申请人浙江创芯集成电路有限公司

地址310000浙江省杭州市萧山区经济技

术开发区建设三路733号

(72)发明人姚淼红徐世斌张馨元颜哲钜

李翰轩高大为吴永玉任堃

(74)专利代理机构杭州君度专利代理事务所

(特殊普通合伙)33240

专利代理师朱亚冠

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书1页说明书7页附图1

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