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《X射线光电子能谱仪校准规范编制说明》.docx

《X射线光电子能谱仪校准规范编制说明》.docx

    X射线光电子能谱仪校准规范

    编制说明

    主要起草单位：

    中国计量科学研究院

    参与起草单位：

    上海市计量测试研究院有限公司

    主要起草人：

    贾志立任玲玲

    参加起草人：

    郝萍

    一、任务来源

    根据2024年国家计量技术法规制修订计划立项，由中国计量科学研究院承担《X射线光电子能谱仪校准规范》的制定工作。

    二、制定的意义

    X射线光电子能谱（XPS）基于光电效应原理，当X射线辐射到样品表面时，原子内层电子吸收光子能量后脱离原子束缚成为自由电子，通过测量这些光电子的动能，结合已知的X射线源能量

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