CN119314929A 晶圆对中定位装置、传输装置、减薄设备及对中方法 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119314929A

(43)申请公布日2025.01.14

(21)申请号202411843417.4

(22)申请日2024.12.14

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人路新春赵德文杨尧马旭

靳凯强

(51)Int.Cl.

H01L21/68(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

B24B7/22(2006.01)

B24B41/00(2006.01)

B24B27/00(2006.01)

B24B