原创力文档《电子束曝光机技术要求和试验方法》
国家标准编制说明
一、工作简况
（一）任务来源及协作单位
2026年5月22日，国家标准化管理委员会发布《关
于下达2026年第五批推荐性国家标准计划及相关标准外文
版计划的通知》（国标委发〔2026〕33号），下达了《电子
束曝光机技术要求和试验方法》推荐性国家标准的制定任务，
计划号T-469，任务周期12个月。本标准由全国
半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会（SAC/TC
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