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氧化石墨烯浆料测量评价技术规范
单层厚度测量不确定度评定示例
A.1厚度的校准不确定度评定示例
A.1.1校准方法简述及测量模型
使用标准物质高度测量值和标准值的比值对原子力显微镜高度进行校准。
校正比例因子:
R=Hc/Hm...…………(A.1)
式中,
R—校正比例因子,无单位;
Hc—标准物质台阶高度标准值,单位纳米(nm);
Hm—标准物质台阶高度测量值,单位纳米(nm)。
A.1.2不确定度评定
A.1.2.1校准引入的不确定度
根据式(A.1),校准引入的不确定度分量包括标准物质测量重复性引入的不确定度和标准物质引
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