CN119414672A 制造方法及光刻机设备 （浙江创芯集成电路有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119414672A

(43)申请公布日2025.02.11

(21)申请号202411835792.4

(22)申请日2024.12.12

(71)申请人浙江创芯集成电路有限公司

地址311200浙江省杭州市萧山区宁围街

道平澜路2118号浙江大学杭州国际科

创中心水博园区11幢4层-5层（自主申

报）

(72)发明人吴建明刘攀周国栋黄烈杰

(74)专利代理机构上海知锦知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)31327

专利代理师李成龙

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

G03F9/00(2006.01)