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- 2026-07-02 发布于河南
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ICS31.260
CCSJ39
团体标准
T/IAWBS×××-×××
碳化硅光波导片的水导激光
加工工艺规范
Specificationforwaterjet-guidedlaser
processingofsiliconcarbideoptical
waveguidewafers
征求意见稿
（本稿完成日期
××××-××-××发布××××-××-××实施
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟发布
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