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《碳化硅光波导片的水导激光加工工艺规范》.pdfVIP

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  • 2026-07-02 发布于河南
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《碳化硅光波导片的水导激光加工工艺规范》.pdf

    ICS31.260

    CCSJ39

    团体标准

    T/IAWBS×××-×××

    碳化硅光波导片的水导激光

    加工工艺规范

    Specificationforwaterjet-guidedlaser

    processingofsiliconcarbideoptical

    waveguidewafers

    征求意见稿

    （本稿完成日期

    ××××-××-××发布××××-××-××实施

    中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟发布

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