CN119827796A 一种石英底座平面差分型石英振梁加速度计及其封装方法 （华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119827796A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202411970799.7

(22)申请日2024.12.30

(71)申请人华中光电技术研究所（中国船舶集团有限公司第七一七研究所）

地址430223湖北省武汉市江夏区阳光大

道717号

(72)发明人曲天良车驰骋王鹏刘文明马东

(74)专利代理机构北京律谱知识产权代理有限

公司11457

专利代理师杨娟

(51)Int.Cl.

G01P15/09(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

B81C99/00(2010.01)

B81B7/00(2006.01)

权利要求书2页说明书14页附图3页

(54)发明名称

一种石英底座平面差分型石英振梁加速度

计及其封装方法

(57)摘要

CN119827796A本申请属于惯性器件技术领域，具体涉及一种石英底座平面差分型石英振梁加速度计及其封装方法，该加速度计包括壳体、电路板、VIA芯片、石英基板和导电插针，壳体内部为真空腔体，石英基板由石英本体、矩形台阶和焊料薄膜组成，矩形台阶用于定位和固定VIA芯片，焊料薄膜实现芯片的焊接连接，两个VIA芯片通过差分检测输出正负信号，电路板为芯片提供驱动信号并放大输出