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真空获得设备工程师考试试卷及答案

一、填空题（共10题，每题1分，共10分）

1.国际单位制中真空度的基本单位是______。

答案：帕斯卡（Pa）

2.旋片式真空泵属于______真空泵（粗/高/超高）。

答案：粗

3.扩散泵的核心部件是______。

答案：喷嘴（喷口组）

4.真空系统中隔离泵与真空室的阀门是______。

答案：真空隔离阀

5.分子泵按结构分为涡轮分子泵和______分子泵。

答案：牵引（复合）

6.真空检漏常用方法之一是______检漏。

答案：氦质谱（或卤素、气泡法）

7.机械泵极限真空通常可达______Pa（数量级）。

答案：10?1

8.低温泵利用气体的______效应抽气。

答案：冷凝（吸附）

9.超高真空常用获得设备是______（举一种）。

答案：分子泵（离子泵、低温泵）

10.真空系统抽气时间与真空室体积和______有关。

答案：抽气速率

二、单项选择题（共10题，每题2分，共20分）

1.属于粗真空获得设备的是？

A.旋片泵B.扩散泵C.分子泵D.离子泵

答案：A

2.扩散泵的工作气体通常是？

A.空气B.油蒸汽C.氮气D.氢气

答案：B

3.分子泵极限真空可达______Pa。

A.10?1B.10?3C.10??D.10?1?

答案：C

4.灵敏度最高的真空检漏方法是？

A.气泡法B.卤素检漏C.氦质谱检漏D.压力降法

答案：C

5.