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溶胶-凝胶法制备Al掺杂ZnO薄膜的方法分析
溅射法、液滴铸造法、溶胶-凝胶法、化学镀液法、喷雾热解法等技术已被用于制备ZnO薄膜。在这些制备技术中，溶胶-凝胶法是大规模合成薄膜的最通用和最具优势的技术之一[7]，可以轻松地控制膜的厚度和均匀性。与其他沉积技术相比，该技术具有成本低、可控、简单、易于大面积应用、均匀性好、结晶温度低等显著优点[11]。
顾名思义，溶胶-凝胶法便是将胶体溶液“溶胶”形成固体“凝胶”。Muhammad等人[7]在制备纯ZnO和Al掺杂ZnO薄膜时
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