CN119827852A 压电驱动电极组件、加工方法及mems电场传感器 （北京中科飞龙传感技术有限责任公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119827852A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202411839892.4

(22)申请日2024.12.13

(71)申请人北京中科飞龙传感技术有限责任公

司

地址100097北京市海淀区昆明湖南路51

号C座一层102号

申请人中科飞龙（北京）智能科技有限公司

(72)发明人杨鹏飞储昭志闻小龙吴双

(51)Int.Cl.

G01R29/12(2006.01)

B81B3/00(2006.01)

B81B7/00(2006.01)

B81B7/02(2006.01)

B81C1/00(2006.01)