蓝光Micro-LED巨量转移后键合良率提升与电学特性测试.docxVIP

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目录

TOC\o1-3\h\z\u蓝光Micro-LED巨量转移后键合良率提升与电学特性测试 3

摘要 3

第一章绪论 3

1.1研究背景 3

1.2研究目的与意义 4

1.3国内外研究现状 5

1.4研究内容与论文组织 6

第二章相关技术与理论基础 6

2.1蓝光Micro-LED结构与键合原理 6

2.2临时键合与激光剥离技术 7

2.3四探针法测试原理 7

第三章工艺需求分析与设计指标 8

3.1工艺需求概述 8

3.2关键性能指标 8

3.3非功能需求 8

第四章工艺方案总体设计 9

4.1键合与测试总体流程设计 9

4.2临时键合胶优化方案 9

4.3激光剥离工艺优化方案 10

4.4四探针测试阵列设计 10

4.5数据采集与评价方案 11

第五章工艺模块详细设计 11

5.1临时键合胶配方与工艺参数设计 11

5.2激光剥离参数优化设计 11

5.3四探针测试阵列版图与测量电路设计 12

5.4测试流程与算法设计 12

第六章工艺实现与测试验证 13

6.1实验材料与设备 13

6.2临时键合胶制备与涂覆 13