半导体工厂制造信息系统（CIM）功能架构与子系统通用要求标准化发展研究报告.docx

半导体工厂制造信息系统（CIM）功能架构与子系统通用要求标准化发展报告

StandardizationDevelopmentReportonGeneralRequirementsforFunctionArchitectureandSubsystemsofComputerIntegratedManufacturing(CIM)SystemforSemiconductorFabs

摘要

半导体产业作为国家战略性新兴产业的核心组成部分，其制造过程的智能化与信息化水平直接关系到产业竞争力与国际话语权。随着半导体制造工艺不断向纳米级演进，制造信息系统（Comput