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溶胶-凝胶法制备Al掺杂ZnO薄膜的方法概述

众所周知，适当的制备方法会使ZnO集成在不同的衬底上[14]。研究人员实验发现，可以通过喷雾热解、脉冲激光沉积、光化学沉积、分子束外延、溅射和溶胶-凝胶等沉积技术制备Mg掺杂的ZnO薄膜。在各种沉积方法中，溶胶-凝胶法能够很容易地控制薄膜的厚度和小、大面积基材涂层。

MohdShkir等人[15]在采用溶胶-凝胶法制备掺杂Mg的ZnO薄膜的过程中，将[Zn(CH3COO)2.2H2O]作为前驱体、[Mg(NO3)2.6H2O]作为Mg的掺杂源、[C3H8O2]和[C2H7NO]分别作为溶剂和稳定剂。首先将一定数量的[Zn(CH3COO)2.2H2