GBT 47719-2026 微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法标准立项发展报告.docxVIP

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微机电系统（MEMS）技术MEMS电容式麦克风性能试验方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Micro-electromechanicalSystems(MEMS)Technology-PerformanceTestMethodsforMEMSCapacitiveMicrophones

摘要

Keywords:MEMS;CapacitiveMicrophone;PerformanceTestMethods;NationalStandard;StandardizationDevelopment;Sensitivity;FrequencyResponse;Signal-to-NoiseRatio;SAC/TC336

关键词：微机电系统；电容式麦克风；性能试验方法；国家标准；标准化发展；灵敏度；频率响应；信噪比；SAC/TC336

1.引言

微机电系统（Micro-ElectromechanicalSystems,MEMS）技术是当前全球制造业向微型化、智能化、集成化转型的核心技术之一。MEMS电容式麦克风利用半导体微细加工技术，将声学振膜、背板及信号处理电路集成于单一芯片之上，以其优异的尺寸优势、可重复性和耐热性，已全面替代传统驻极体麦克风，成为智能手机、平板