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薄膜热电偶技术更新规范

薄膜热电偶技术更新规范

一、材料体系革新与多层膜系结构设计的规范化要求

（1）敏感材料体系的分级更新与选用规范。薄膜热电偶技术的核心在于热电敏感薄膜的材料匹配性，现行技术规范要求依据测温上限、基底材质及服役环境介质，对敏感材料体系实施分级管理并更新备案。对于600℃以下的中低温工况，推荐采用NiCr/NiSi（K型薄膜化）、Cu/CuNi（T型薄膜化）及NiCr/Constantan体系，其中K型薄膜热电偶在经800℃退火稳定化处理后，其塞贝克系数应趋近于标准K型线材热电偶的41.0μV/K，允许偏差不超过±3%。对于600℃至1100℃的中高温工况，强制采用贵