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肖特基二极管的制备及其电学表现分析
目录
TOC\o1-3\h\u1465肖特基二极管的制备及其电学表现分析 1
246461.1引言 1
190241.2器件结构与版图设计 1
183241.3关键设备介绍 1
256801.4氧化镓肖特基二极管制备关键工艺 1
154701.5测试和电学参数提取 1
95531.5.1电学参数的提取 1
251861.5.2常温下的I-V特性 1
86201.5.3退火对于肖特基二极管电学特性的影响 1
引言
肖特基势垒二极管，是由一种由半导体和金属接触而形
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