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CN119270598A 一种光刻照明系统、方法及光刻机 （鹏城实验室）.pdfVIP

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  • 2026-07-07 发布于重庆
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CN119270598A 一种光刻照明系统、方法及光刻机 （鹏城实验室）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119270598A

    (43)申请公布日2025.01.07

    (21)申请号202411804389.5

    (22)申请日2024.12.10

    (71)申请人鹏城实验室

    地址518000广东省深圳市南山区兴科一

    街2号

    (72)发明人曹子峥王广彪周延皮雅稚

    余少华

    (74)专利代理机构深圳市世纪恒程知识产权代

    理事务所44287

    专利代理师李俊杰

    (51)Int.Cl.

    G03F7/20(2006.01)

    权利要求书2页说明书8页附图4页

    (54)发明名称

    一种光刻照明系统、

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