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真空阴极电弧离子源磁场分析与设计.pdfVIP

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  • 2026-07-08 发布于四川
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真空阴极电弧离子源磁场分析与设计.pdf

    真空与低温第25卷第3期

    194VacuumCryogenics2019年6月

    真空阴极电弧离子源磁场分析与设计

    12*211111

    蒋钊，唐德礼，陈庆川，周晖，肖更竭，郑军，马占吉，杨拉毛草

    （1.兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室，兰州730000；

    2.核工业西南物理研究院，成都610041）

    摘要：真空阴极电弧离子源是多弧离子镀膜设备的核心部件，直接影响镀膜系统的整体性能。真空阴极电弧离

    子源在工作时，大液滴发射是阻碍电弧离子镀技术广泛深入应用的瓶颈问题。合理设计

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