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等离子体高频高压电源技术解析与应用实战指南.pdf

等离子体高频高压电源技术解析与应用实战指南.pdf

    （19）中华人民共和国国家知识产权局

    （12）发明专利申请

    流滤波单元整流滤波后产生高压输出本发明的等离子体高频高压电源可适用于等离子体发生器法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态公开实质审查的生效发明专利申请公布后的视为撤回公开实质审查的生效发明专利申请公布后的视为撤回权利要求说明书等离子体高

    （10）申请公布号

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