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半导体UHAST测试技术考核试卷

一、单项选择题（每题1分，共30题）

1.UHAST测试主要用于检测哪种缺陷？

A.金属互连

B.绝缘层

C.半导体材料

D.封装结构

2.UHAST测试的频率范围是多少？

A.100kHz-1MHz

B.1MHz-10MHz

C.10MHz-100MHz

D.100MHz-1GHz

3.UHAST测试中，哪个参数表示测试的灵敏度？

A.功率

B.频率

C.电压

D.电流

4.UHAST测试的样品尺寸通常是多大？

A.1mm×1mm

B.5mm×5mm

C.10mm×10mm

D.20mm×20mm

5.UHAST测试中，哪个设备用于施加高压？

A.电源

B.