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气相沉积系统校准规程

气相沉积系统校准规程

一（1）气相沉积系统校准的前提条件与准备工作。在进行气相沉积系统的正式校准之前，必须确保所有相关设备处于正常工作状态且环境条件符合要求。首先，需要检查真空泵组的运行状况，包括机械泵、分子泵以及低温泵的抽速是否达到设计指标，油位是否在正常范围内，冷却水循环系统是否畅通无阻。其次，气路系统的密封性至关重要，需使用氦质谱检漏仪对所有接口和阀门进行泄漏检测，确保系统本底真空度能够稳定达到10??帕斯卡量级以下。此外，气体质量流量控制器需要进行零点漂移和满量程精度校验，通常要求其控制误差不超过设定值的±1%。加热系统的校准同样不可忽视，热电偶或热电阻温度传感