CN119297125A 一种应用于半导体芯片生产的浸蚀装置及方法 （无锡兴华衡辉科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119297125A

(43)申请公布日2025.01.10

(21)申请号202411815798.5

(22)申请日2024.12.11

(71)申请人无锡兴华衡辉科技有限公司

地址214000江苏省无锡市新吴区长江南

路35-322号

(72)发明人肖钰牟宏山张新宇高一枫

(74)专利代理机构无锡风创知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)32461

专利代理师刘永凡

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

B08B1/12(2024.01)

B08B1/30(2024.01)