CN119291248A 一种导电连接测试设备及半导体加热盘测试方法 （爱利彼半导体设备(上海)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119291248A

(43)申请公布日2025.01.10

(21)申请号202411820652.XB65G47/248(2006.01)

(22)申请日2024.12.11

(71)申请人爱利彼半导体设备（上海）有限公司

地址200120上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区临港新片区两港大道

6288号1幢1层

(72)发明人汤进昌王义

(74)专利代理机构苏州市知腾专利代理事务所

(普通合伙)32632

专利代理师李小明

(51)Int.Cl.

G01R1/04(2006.01)

G01R1/02(2