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多晶硅生产工艺详解与应用实战解析.pdf

多晶硅生产工艺详解与应用实战解析.pdf

    （19）中华人民共和国国家知识产权局

    （12）发明专利申请

    工艺采用两段生长的方式开始采用二氯二氢硅和氢气反应的方式比常规氢气还原三氯氢硅的方式生长速度快一般倒棒的事故多发生在晶棒生长的前期这就减少倒棒发生的可能本发明的多晶硅生产工艺能够减少倒棒率降低生产成本硅棒完整生长阶段加入有部分二氯二氢硅可以

    （10）申请公布号

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