CN119839457B 用于石英晶体的激光双面刻蚀应力控制方法及系统 （北京精恒工控科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN119839457B

(45)授权公告日2025.06.24

(21)申请号202510346812.X

(22)申请日2025.03.24

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119839457A

(43)申请公布日2025.04.18

(73)专利权人北京精恒工控科技有限公司

地址101118北京市通州区宋庄镇草寺村

委会南300米

(72)发明人廖占强

(74)专利代理机构北京萤火虫知识产权代理事务所(普通合伙)16158

专利代理师田亚飞

(51)Int.Cl.

B23K26/362(2014.01)

B23K26/082(2014.01)

B23K26/70(2014.01)

(56)对比文件

CN103008887A,2013.04.03

CN119596842A,2025.03.11审查员王莉

权利要求书2页说明书10页附图2页

(54)发明名称

用于石英晶体的激光双面刻蚀应力控制方

法及系统

(57)摘要

CN119839457B本发明涉及激光刻蚀技术领域，公开了用于石英晶体的激光双面刻蚀应力控制方法及系统，该方法包括：基于石英晶体初始应力分布生成双面互补刻蚀路径。同步控制正反面激光能量输入，以使双面热应力场形成动态平衡。