DB13_T 6141-2025 高纯度钨部件性能评价方法.docxVIP

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河北省地方标准

DB13/T6141—2025

高纯度钨部件性能评价方法

2025-05-27发布2025-06-03实施

河北省市场监督管理局发布

DB13/T6141—2025

I

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由邯郸市市场监督管理局提出。

本文件起草单位：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所。

本文件主要起草人：王亚峰、彭立培、刘跃旭、薄林、裴佳莹、李丹丹、林坤、郑艺。

DB13/T6141—2025

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高纯度钨部件性能评价方法

1范围

本文件规定了半导体制造用高纯度钨部件化学成分、物理性能的评价方法，包括检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。

本文件适用于半导体制造用高纯度钨部件的金属杂质元素和物理性能的评价。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文