原创力文档第二节压阻式传感器
固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应。半导体材料的这种效
应特别强。利用半导体材料做成的压阻式传感器有两种类型：一种是利用半导体材料的体电阻
做成的粘贴式应变片；另一类是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成扩散电阻，称扩散
型压阻传感器。压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积小。它主要用于测
量当电阻方向不在晶轴方向时或应力不在晶轴方向时压阻张量要从一个坐标系变换到晶体主轴坐标系计算较复杂这里不进行讨论当硅膜比较薄时可以略去沿硅膜厚度方向应力三维向量就简化成了
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