CN119615091A 一种异质外延生长钇稳定氧化锆薄膜的方法 (爱发科(苏州)技术研究开发有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-09 发布于重庆
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CN119615091A 一种异质外延生长钇稳定氧化锆薄膜的方法 (爱发科(苏州)技术研究开发有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119615091A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411797821.2C30B29/16(2006.01)

(22)申请日2024.12.09

(71)申请人爱发科(苏州)技术研究开发有限公

地址215127江苏省苏州市工业园区苏虹

东路277号

(72)发明人岳磊龚立强徐章泉周燕萍

左超韩钢

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

专利代理师陈蒙

(51)Int.Cl.

C23C14/35(2006.01)

C23C14/0

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