CN119715801A 晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置 (武汉新芯集成电路股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-10 发布于重庆
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CN119715801A 晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置 (武汉新芯集成电路股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119715801A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202411827587.3

(22)申请日2024.12.11

(71)申请人武汉新芯集成电路股份有限公司

地址430205湖北省武汉市东湖开发区高

新四路18号

(72)发明人王曜李磊

(74)专利代理机构深圳市威世博知识产权代理

事务所(普通合伙)44280

专利代理师黎坚怡

(51)Int.Cl.

G01N29/06(2006.01)

G01N29/30(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

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