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CN119644743A 等离子发生器的自适应控制系统及方法 （江苏神州半导体科技有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-07-10 发布于重庆
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CN119644743A 等离子发生器的自适应控制系统及方法 （江苏神州半导体科技有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119644743A

    (43)申请公布日2025.03.18

    (21)申请号202411799989.7

    (22)申请日2024.12.09

    (71)申请人江苏神州半导体科技有限公司

    地址225100江苏省扬州市邗江区蜀岗西

    路19号1

    (72)发明人朱培文

    (74)专利代理机构南京业腾知识产权代理事务

    所(特殊普通合伙)32321

    专利代理师梅生振

    (51)Int.Cl.

    G05B13/04(2006.01)

    权利要求书3页说明书13页附图5页

    (54)发明名称

    等离子发生器的自适应控制系统及方法

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