集成电路洁净室气态分子污染物在线监测系统工程技术规范标准化发展研究报告.docx

集成电路洁净室气态分子污染物在线监测系统工程技术规范标准化发展报告

TechnicalCodeforOnlineAirborneMolecularContaminationMonitoringSystemsinIntegratedCircuitCleanrooms:AStandardizationDevelopmentReport

摘要

随着集成电路制造工艺向纳米级节点持续演进，洁净室环境中的气态分子污染物（AirborneMolecularContamination,AMC）对晶圆良率的影响日益显著。为规范集成电路洁净室AMC在线监测系统的工程设计、施