CN120149233A 晶圆操作装置及监控晶圆操作装置的方法 （南亚科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120149233A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510310597.8

(22)申请日2025.03.17

(30)优先权数据

18/976,2592024.12.10US

(71)申请人南亚科技股份有限公司

地址中国台湾新北市泰山区南林路98号

(72)发明人刘逸文

(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有

限公司11270

专利代理师康艳青张铮铮

(51)Int.Cl.

H01L21/677(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/66(2006.01)