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CN119956337A 用于制造低k膜以填充表面特征的前体和可流动cvd方法 （弗萨姆材料美国有限责任公司）.docxVIP

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  • 2026-07-11 发布于山西
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CN119956337A 用于制造低k膜以填充表面特征的前体和可流动cvd方法 （弗萨姆材料美国有限责任公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119956337A

    (43)申请公布日2025.05.09

    (21)申请号202510126335.6

    (22)申请日2017.08.25

    (30)优先权数据

    62/381,2222016.08.30US

    15/681,1022017.08.18US

    (62)分案原申请数据

    201780053056.52017.08.25

    (71)申请人弗萨姆材料美国有限责任公司地址美国亚利桑那州

    (72)发明人李建恒R·N·弗蒂斯

    R·G·里德格韦萧满超雷新建

    (74)专利代理机构

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