电子束曝光机技术要求和试验方法意见稿.docx

GB/TXXXXX—XXXX

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电子束曝光机技术要求和试验方法

1范围

本文件规定了电子束曝光机分类与结构、技术要求和试验方法。

本文件适用于电子束曝光机的设计、研发、生产和应用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

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