CN119858892A 一种mems器件架构及制备方法 （无锡北微传感科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119858892A

(43)申请公布日2025.04.22

(21)申请号202411797897.5

(22)申请日2024.12.09

(71)申请人无锡北微传感科技有限公司

地址214000江苏省无锡市经开区太湖街

道双新工业园区雪丰路28号

(72)发明人黄小浚余未陈丽娜时广轶

王春波

(74)专利代理机构无锡华建知识产权代理事务

所(普通合伙)32767

专利代理师张然祥

(51)Int.Cl.

B81B7/00(2006.01)

G01C21/16(2006.01)

B81B7/02(2006.01)

B81