CN119833433A 单晶半导体晶圆测量系统及方法 （深圳中科飞测科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119833433A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202411795363.9

(22)申请日2024.12.07

(71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

地址518000广东省深圳市龙华区观澜街

道新澜社区观光路1301-14号101、102

(72)发明人马砚忠骆荣辉陈治均崔建华

白园园陈鲁

(74)专利代理机构深圳市科进知识产权代理事

务所(普通合伙)44316

专利代理师刘俊成

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

G01B15/00(2006.01)