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异质兼容集成微系统：实现途径、关键技术与挑战剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微系统集成技术已成为现代科技领域的核心支撑，其重要性不言而喻。从本质上讲，微系统集成技术是将多种微电子器件、光电子器件、微机械结构等融合在一个微小芯片上的前沿技术，它集合了微电子、微机电、微光学以及材料科学等多学科的知识，实现了从微观到宏观应用的跨越，为众多领域的创新发展注入了强大动力。

在通信领域，随着5G乃至未来6G通信技术的不断演进，对通信设备的小型化、高性能、低功耗提出了极高要求。微系统集成技术的应用使得射频前端模块能够实现高度集成，如将变频、接收、发射、天线等功能模块