CN119882663A 一种氟化炉故障诊断方法及其系统 (深圳大学).pdfVIP

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  • 2026-07-12 发布于重庆
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CN119882663A 一种氟化炉故障诊断方法及其系统 (深圳大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119882663A

(43)申请公布日2025.04.25

(21)申请号202411792008.6

(22)申请日2024.12.06

(71)申请人深圳大学

地址518060广东省深圳市南山区南海大

道3688号深圳大学

(72)发明人陈逸凡伍显潍刘永方世杰

张铁军吴正新黄熙黄俊涛

(74)专利代理机构武汉卓越志诚知识产权代理

事务所(特殊普通合伙)

42266

专利代理师王宪珍

(51)Int.Cl.

G05B23/02(2006.01)

权利要求书2

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