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基于MEMS的平面环形微腔与锥形光纤耦合系统的关键技术及性能研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，光学微腔和光纤耦合技术扮演着举足轻重的角色，它们不仅推动了基础光学研究的深入发展，也为众多前沿应用提供了关键支撑。光学微腔作为一种能够将光场限制在极小空间内的光学器件，凭借其独特的光学特性，在诸多领域展现出了巨大的应用潜力。其能够增强光与物质的相互作用，使得在微小尺度下实现高效的光学过程成为可能，如非线性光学效应的显著增强、单光子源的制备以及高灵敏度的光学传感等。这种对光场的有效约束和增强作用，为突破传统光学器件的性能限制提供了新的途径，成为了光学领域研究的热点之一。

光纤耦合技