产品质量检测实验 拓展：用干涉显微镜测量表面粗糙度.docVIP

实验3-2用干涉显微镜测量表面粗糙度

一、实验目的

1.熟悉用干涉显微镜测量表面粗糙度的原理和方法。

2.加深对轮廓最大高度Rz的理解

二、实验内容

用6JA型干涉显微镜测量表面粗糙度的Rz值。

三、测量原理及计量器具说明

干涉显微镜是干涉仪和显微镜的组合，用光波干涉原理来反映出被测工件的粗糙程度。由于表面粗糙度是微观不平度，所以用显微镜进行高倍放大后以便观察和测量。干涉显微镜一般用于测量0.8~0.025μm的Rz值。

图1为6JA型干涉显微镜的外观图。图2为该仪器的光学系统图，由光源1发出的光束，通过聚光镜2、4、8（3是滤色片），经分光镜9分成两束。其中一束经补偿板10、物镜11至被测表面18，再经原光路返回至分光镜9，反射至目镜19。另一光束由分光镜9反射（遮光板20移出），经物镜12射至参考镜13上，再由原光路返回，并透过分光镜9，也射向目镜19。两路光束相遇迭加产生干涉，通过目镜19来观察。由于被测表面有微小的峰、谷存在，峰、谷处的光程不一样，造成干涉条纹的弯曲。相应部位峰、谷的高度差h，与干涉条纹弯曲量a和干涉条纹间距b有关（图5b），其关系式为：

h＝

式中，λ为测量中的光波长。本实验就是利用测量干涉条纹弯曲量a和干涉条纹间距b来确定Rz值的。

四、测量步骤

1.调整仪器

测量时调整仪器的方法如下：

开亮灯泡，转动手轮10和6（图1），使图2