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薄膜材料与技术入门试题含评分标准

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

密性适合制备复杂成分的薄膜列举三种常见的薄膜制备技术并简述其中任意一种技术的原理和特点解析三种常见的薄膜制备技术有溅射沉积化学气相沉积物理气相沉积包括蒸发以溅射沉积为例溅射沉积的原理是利用高能粒子通常是惰性气体离子轰击目标材靶材表面使靶材原

一、选择题（每题2分，共20分）

1.以下哪种材料或结构通常被称为薄膜？

A.块体金属锭

B.金属丝

C.厚度在微米或纳米量级的薄层材料

D.液体水滴

2.在薄膜制备技术中，利用气体在加热基板表面发生化学反应并沉积成膜的

方法属于？

体在基板表面发生化学反应并沉积成膜的方法解析扫描电子显微镜主要用于观察薄膜的表面形貌和微结构解析薄膜的厚度通常在纳米或亚纳米数量级范围解析稀土永磁材料如钕铁硼具有高矫顽力和高剩磁常用于制造高密度磁盘解析溅射沉积通常能制备均匀性较好大面积的薄

A.溅射沉积

B.真空蒸发沉积

C.化学气相