CN119407693A 一种抛光垫清洗装置及清洗方法 (华海清科股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-15 发布于重庆
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CN119407693A 一种抛光垫清洗装置及清洗方法 (华海清科股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119407693A

(43)申请公布日2025.02.11

(21)申请号202411779614.4

(22)申请日2024.12.05

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人徐海洋吴兴赵坤

(51)Int.Cl.

B24B53/017(2012.01)

B08B3/04(2006.01)

B08B13/00(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图11页

(54)发明名称

一种抛光垫清洗装置及清洗方法

(57)摘要

本发明公开了一种抛光

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