CN119998833A 用于晶片的成像数据集中缺陷检测的计算机实施方法、相应的计算机可读介质、计算机程序产品以及利用此方法的系统 （卡尔蔡司Smt有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119998833A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202380069923.X

(22)申请日2023.09.06

(30)优先权数据

102022125015.62022.09.28DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.03.28

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0743702023.09.06

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/068203EN2024.04.04

(71)申请人卡尔蔡司SMT有限责任公司地址德国上科亨

(72)发明人A·斯里坎塔A·阿尔佩罗维奇B·巴兹N·梅文坎普

J·T·纽曼E·福卡J·珀施

(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

11105

专利代理师王蕊瑞

(51)Int.Cl.

G06T7/00(2017.01)

G06T7/30(2017.01)

G06V10/40(2022.01)

G06V10/52(2022.01)

G06V10/77(2022.01)

G06V10/772(2022.01)

G06V10/82(2022.01)

G06N3/0455(2023.01)

权利要求书5页说明书